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在芯片生產(chǎn)過程中會產(chǎn)生有毒蒸汽和廢氣,這些必須在潔凈室上方的廢氣處理系統(tǒng)中進行中和處理。
廢氣處理采用廢氣洗滌器,清潔廢氣后會產(chǎn)生受污染的水。Almatec? E系列泵非常適合處理這類廢水。
此外,它們還為廢氣洗滌器提供必要的清潔劑,如石灰乳。
在污水處理流程中,有一個環(huán)節(jié)涉及去除結(jié)合態(tài)污染物和固體,而壓濾機常用于這一處理環(huán)節(jié)。
鑒于這些應(yīng)用需要更高的壓力,建議使用Almatec? AHD或AHS系列泵,這些泵的輸送壓力可達15巴(218磅/平方英寸)。這些泵設(shè)計簡單緊湊,且維護需求極低,有助于確??煽渴褂谩?/span>
廢水處理中,所有生產(chǎn)過程中使用的化學品在使用后都會經(jīng)過處理,達到可以排入當?shù)貜U水處理系統(tǒng)的標準。為此,必須將所有有害物質(zhì)從流體流中分離出來,并對廢水進行中和處理。
在使用和處置之前,部分用過的化學品會先在循環(huán)系統(tǒng)中通過熱交換器進行冷卻。因此,對于高達160°C(320°F)的高溫需求,F(xiàn)UTUR系列泵因其耐熱特性而成為理想之選。
Almatec?還為特殊應(yīng)用(如溶劑供應(yīng))提供了合適的解決方案。在處理溶劑時,防爆是首要任務(wù)。這些溶劑主要用于去除晶圓上用于芯片生產(chǎn)的光刻膠。
FUTUR系列的導電泵采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼制成,能有效防止火花產(chǎn)生。在處理某些腐蝕性介質(zhì)時,塑料材質(zhì)的
FUTUR系列泵也可用于爆炸性區(qū)域。 導電E系列泵非常適合作為事故情況下的排放泵使用。
Pure Chemical Supply 高純化學品供給系統(tǒng)
可靠的化學品供應(yīng)是所有芯片生產(chǎn)的基礎(chǔ)。Almatec?泵非常適合處理現(xiàn)代芯片生產(chǎn)所需的所有化學品。
完全無金屬的FUTUR系列泵經(jīng)過特殊設(shè)計,能夠在不產(chǎn)生剪切力且不造成顆粒污染的情況下輸送要求最苛刻的介質(zhì)。常見的機柜通常會配備冗余的FUTUR泵,以確??煽康幕瘜W品供應(yīng)。
Almatec E系列泵非常適合在此應(yīng)用中作為排水泵使用。
卡車/儲罐卸料 Truck/Tank Unloading
卡車/儲罐卸料 由于化學品需求不斷增長,越來越多的化學品通過油罐車進行運輸。Almatec? FUTUR系列氣動雙隔膜(AODD)泵提供了一種理想的方式,能夠在滿足與加工工具供應(yīng)相同的純度要求下,安全、快速地將化學品從卡車輸送到儲罐中。該系統(tǒng)同樣適用于所有其他輸送操作,并確?;瘜W品的高純度。
對于這些應(yīng)用,特別推薦使用較大規(guī)格的50和100系列Almatec FUTUR泵。